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激光尺

  • 01 LE系列激光尺

    LE系列激光尺采用激光干涉测量技术,以高稳定度的激光波长为基准,实现高精度、高分辨率的直线位移测量;
    LE系列激光尺采用先进的热控制稳频技术将激光稳频精度保持在±0.05ppm。精确稳定的激光源和精准的环境补偿,保证±0.5um/m的测量精度;
    LE系列激光尺可以实现长达20m的精确测量,在长距离测量应用上有突出的优势;最高4m/s的测量速度,可满足几乎所有的测量应用;测量分辨率可配置,最高为1nm。
  • 02 应用案例及领域

    科德数控股份有限公司生产的KGHM2560U高速桥式龙门机床,X轴全行程6m,配置LE系列激光尺作为全闭环反馈,定位精度达到6um,重复定位精度达到3um;
    LE系列激光尺可用于精密机床、半导体精密加工设备、测量机等其他需要高精度直线位置反馈的应用场合。
 

参数

PARAMETER

项目 名称 参数
性能参数 激光频率稳定度
线性定位精度
分辨率
测量速度
测量距离
±0.05ppm
±0.5um/m(±0.5ppm)
最高1nm 可配置
4m/s
20m
工作条件 工作温度
工作压力
工作湿度
0℃~40℃
60KPa~120KPa
0%~95% 非冷凝
激光参数 激光波长
激光功率
激光稳定时间
出射光斑直径
632.8nm
<1mw
≈10min
6mm
环境补偿传感器
环境温度测量精度
大气压力测量精度
大气湿度测量精度
材料温度测量精度
±0.1℃
±100Pa
±5%
±0.1℃
电气特性
电源电压
电源电流
调试接口
位置数据反馈接口
通用I/O接口
24V±10%
2.0A 最大
USB
RS422/RS485   串行数据:BISS_C   增量数据:TTL增量方波、1Vpp弦波
24V带隔离通用I/O点

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