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激光干涉仪

  • 01 激光干涉仪

    LM-20激光干涉仪以氦氖激光器产生的激光波长为基础,应用高稳定度的激光稳频率技术,获得作为测量基准的高精度激光波长;同时使用高精度温度、大气压力、湿度传感器进行测量环境的补偿;并通过与外部光学镜组配合,实现高精度、可重复、可溯源的相关几何参数精度测量,是数控机床和坐标测量机等精密设备校准的理想工具。LM-20激光干涉仪延续GDLM-10激光干涉仪的高精度测量性能,同时优化了机械结构和使用性能。
  • 02 测量的基本原理

    01.LM-20激光干涉仪的激光头发射出光波,经过分光镜后光波被分成两束;
    02.固定角锥反射镜和移动角锥反射镜分别将光波反射回分光镜;
    03.两列相干光波相遇叠加,在叠加区域某些点的光振动始终加强,某些点的光振动始终减弱,即在干涉区域内振动强度有稳定的空间分布;
    04.最终在光靶上形成了明暗相间的干涉条纹,当两束满足干涉条件的光路径发生相对变化时(即移动角锥反射镜时),其干涉条纹也将发生变化,利用特殊的计数装置对干涉条纹进行计数,就可以知道移动角锥反射镜的位置变化量,从而实现对线性位移进行测量的目的。

  • 03 产品优势

          高激光频率稳定度
    激光稳频标称精度±0.05ppm,实际计量结果 0.02ppm,为激光干涉仪测量提供高精度基准。中国计量科学研究院是中国最权威的计量检测机构,激光干涉的检定数据均来自于中国计量科学研究院。
          精密的环境参数测量能力
    环境温度测量标称精度±0.1℃,实际计量结果-0.02℃-+0.06℃;材料温度测量标称精度±0.1℃,实际计量结果+0.01℃-+0.06℃;大气压力测量标称精度±100Pa,实际计量结果+40-+66.7Pa;环境湿度测量精度±5%。为激光干涉仪的环境补偿算法提供精准的环境参数变化。
          高测量精度
    线性定位测量标称精度±0.5um/m(±0.5ppm),实际计量结果+0.08-+0.47um/m,高测量精度使激光干涉仪可以作为高精度的校准设备。
  • 04 产品特点1

    高测量速度;最高4m/s的测量速度,满足几乎所有的测量应用。
    快速启动:约6分钟的启动预热时间,便于测量现场的快速使用。
    长测量距离:长达20m的测量能力,满足大多数的测量要求。
  • 05 产品特点2

    高测量分辨率:可选的测量分辨率,最高1nm。
    触发式测量:适合在待测机器移动时记录测量值,测量效率高。
    多种国际分析标准供选择:方便用户选择自己需要的分析标准,进行多种分析。
  • 06 核心组件(激光头)

    激光的稳频,发射接收及相关后续处理;环境传感器数据的接收,上位机软件的交互。
  • 07 核心组件(环境传感器)

    用于测量环境温度,材料温度,环境湿度及大气压力;测量得到的环境数据用于干涉仪的精密补偿。
  • 08 核心组件(测量镜组)

    1、线性镜组:用于进行线性测量的光学套件;
    2、角度镜组:用于进行角度及旋转测量的光学套件。
  •  

    09 相关组件

参数

PARAMETER

LM-20激光干涉仪技术参数表
性能参数 光学参数
激光频率稳定度    ±0.05ppm 激光功率               ≤1mw
线性定位精度        ±0.05um/m±0.05ppm) 激光对准范围       ±2°
分辨率                   1nm最高 光斑直径               6mm
测量速度                ≤4m/s 激光稳定时间       约6min
测量距离                ≤20m  


环境传感器组件参数表
名称 参数
环境传感器组件         内部传感器
1个空气湿度传感器     1个空气压力传感器
                                 外部传感器 1个空气湿度传感器     1-3个材料温度传感器
接口 专用线缆直接连接激光干涉仪
供电                激光干涉仪供电
精度参数及范围 测量范围 测量精度
环境温度传感器 0℃-50℃ ±0.1℃
材料温度传感器 0℃-50℃ ±0.1℃
大气压力传感器 60KPa-120KPa ±100pa


附件参数表
规格 参数
便携箱尺寸 便携箱尺寸 559 x 351 x 229 mm
系统重量 12-18kg
三脚架折叠后尺寸 590mm
三脚架工作高度范围 350-1650mm


线性测量
规格 公制 英制
线性测量长度范围 20m 800 in
测量精度                        ±0.5um/m(±0.5ppm)
分辨率 0.001um 0.1uin


角度测量
规格 公制 英制
轴向量程
15 m
590 in
角度测量范围
±175mm/m
±10°
精度
±0.002A±0.5±0.1M微弧度 ±0.0002A±0.5±0.1M微弧度
±0.002A±0.1±0.007F角秒 ±0.0002A±0.1±0.007F角秒
分辨率
0.1um/m
0.01角秒
温度范围:20℃±5℃
A=显示的角度度数;M=以米来计的测量距离;F以英尺来计的测量距离


旋转测量
规格 公制 英制
角度目标量程                           0-360°
测量精度 ±5um/m ±1角秒
轴最高转速                           2rpm
方向                           任意

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