01 激光干涉仪

LM-20激光干涉仪以氦氖激光器产生的激光波长为基础，应用高稳定度的激光稳频率技术，获得作为测量基准的高精度激光波长；同时使用高精度温度、大气压力、湿度传感器进行测量环境的补偿；并通过与外部光学镜组配合，实现高精度、可重复、可溯源的相关几何参数精度测量，是数控机床和坐标测量机等精密设备校准的理想工具。LM-20激光干涉仪延续GDLM-10激光干涉仪的高精度测量性能，同时优化了机械结构和使用性能。

04 产品特点1

高测量速度；最高4m/s的测量速度，满足几乎所有的测量应用。

快速启动：约6分钟的启动预热时间，便于测量现场的快速使用。

长测量距离：长达20m的测量能力，满足大多数的测量要求。

05 产品特点2

高测量分辨率：可选的测量分辨率，最高1nm。

触发式测量：适合在待测机器移动时记录测量值，测量效率高。

多种国际分析标准供选择：方便用户选择自己需要的分析标准，进行多种分析。

06 核心组件（激光头）

激光的稳频，发射接收及相关后续处理；环境传感器数据的接收，上位机软件的交互。

07 核心组件（环境传感器）

用于测量环境温度，材料温度，环境湿度及大气压力；测量得到的环境数据用于干涉仪的精密补偿。

08 核心组件（测量镜组）

1、线性镜组：用于进行线性测量的光学套件；

2、角度镜组：用于进行角度及旋转测量的光学套件。

09 相关组件